配资股票门户网万维克林申请晶圆清洗装置和晶圆加工设备专利, 提升晶圆的清洗效率

金融界2025年5月1日消息配资股票门户网，国家知识产权局信息显示，安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备”的专利，公开号CN119890086A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备，具体涉及晶圆加工技术领域，包括基座，所述基座的顶端一侧固定安装有第一架体，所述第一架体的顶部固定安装有定旋机构，所述基座的顶端另一侧固定安装有第一运输机构，所述定旋机构和第一运输机构之间设有转运机构，所述基座顶端靠近定旋机构的一侧固定安装有清洗机构，所述转运机构位置处的基座顶端固定安装有第二运输机构，本发明，通过设置定旋机构，能够对晶圆进行轮式定位，从而可控制晶圆进行转动，配合使用清洗机构，对晶圆的上下表面进行同步自动清洗，从而提升了晶圆的清洗效率。

天眼查资料显示，安徽万维克林精密装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息54条，此外企业还拥有行政许可4个。

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